中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9378307 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、最新の半導体製造プロセスで使用するために設計された高性能エッチャー/アッシャーです。TEL Triasシリーズエッチャーは、エッチングプロセスの各ステップが正確かつ迅速に完了するために、さまざまな高度な技術を利用して、高スループットと信頼性のために設計されています。東京電子トライアスは、3D ICパッケージングやMEMSファブリケーションなどの半導体製造プロセスにおいて人気のある選択肢となっています。Triasシリーズは、クローズドループ装置を使用してエッチング工程全体を制御します。このクローズドループシステムは、基板全体に均一なエッチングを実現するために、3軸ガスシャワーを使用しています。PID （Proportional-Integral-Derivate）コントローラを使用して、エッチング工程全体で正確な基板温度を維持します。このクローズドループユニットは、TEL/TOKYO ELECTRON Triasの自動ウエフトコントロールマシンによってさらに補完され、均一なエッチング結果で複数の基板を一度にエッチングできます。TEL Triasシリーズはまた、その可変周波数マイクロ波コイルと高度なプラズマ発生器によって区別されます。これらのコンポーネントは、すべての望ましいエッチングガスの均一なプラズマを生成するために使用されます。これにより、東京エレクトロントライアスは、可変ガスによる複数のエッチング工程を一気に完了させるワンステップエッチング工程を実現します。Triasはまた、ユーザーが望ましい結果を達成するためにエッチングガスをすばやく簡単に変更することができます統合ガスパネルを誇っています。これにより、エッチングガスを簡単に切り替えることができ、エッチングプロセスを安定して連続的に維持できます。さらに、ガスパネルを内蔵することで、必要に応じてエッチング工程を微調整することができ、より複雑な結果が得られます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON Trias etcherもOSHAに準拠しています。これは、半導体製造プロセスが安全性と法的基準に準拠していることを確認するために重要です。このようなTEL Triasは、複雑で正確なエッチング結果を迅速かつ確実に作成したい方に最適なツールです。