中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9378306 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、半導体デバイス製造用に設計された先進的なエッチング装置またはアッシャー装置です。TEL Triasは、世界有数の半導体装置メーカーであるTELによって開発された、クリーンで腐食のないデバイスを作成するための基板材料の超精密処理のために構築されています。TOKYO ELECTRON Triasは複数の独自技術を搭載しており、スピードを損なうことなく高精度なエッチングを実現しています。独自のガス配分装置により、エッチングガスを基板表面に均等に配分することでエッチング処理を最適化します。このシステムはまた、連続的な処理温度を保証し、付随的な温度ドリフトをもたらします。また、Triasは高精度のタイミングコントロールユニットを備えており、処理時間を最小限に抑えることができます。さらに、シリコン、シリコン・オン・インシュレーター（SOI）、ガリウム・ヒ素（GaAs）など、さまざまな材料を処理することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、プラズマ反応イオンエッチング（PERI）、化学反応エッチング（CER）、ドライエッチングなど、複数のエッチング技術を使用できます。これらの各テクニックは、TEL Triasの内蔵マルチパラメータ制御機を使用して基板に正確にプログラミングおよび調整することができます。このツールは、エッチングパラメータを高精度に微調整することができ、さまざまなエッチングプロファイルと機能を可能にします。また、TOKYO ELECTRON Triasは、頑丈で信頼性の高い、長いライフサイクルで設計されています。Triasは、高いスループットと高精度のエッチング処理を提供するため、さまざまな半導体デバイス製造環境での使用に最適です。その信頼性の高いエッチングプロセスは、その機能の範囲と相まって、それは電子製品の範囲の生産に有用なツールになります。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、環境に配慮した設計となっており、有毒エッチングガスの使用を低減します。また、エッチングプロセス中にオペレータの安全を確保する保護機能を多数備え、安全性を念頭に置いて設計されています。さらに、エッチング資産は自己校正であり、メンテナンスと校正ルーチンは最小限に抑えられます。最後に、モデルは迅速な再ツーリングのために設計されています。この柔軟性と信頼性の高いエッチングプロセスにより、TEL Triasは半導体デバイスメーカーにとって強力なツールとなります。