中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9362299 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、ハイエンド半導体とMEMS製造のための次世代エッチング/アッシュプラットフォームです。ウエハスケールの様々な素材にエッチング/アッシュが可能な自動装置です。システムスイートは、高度なデバイスやコンポーネントの製造のための主要な製造施設で使用されている確立されたTEL Triasプラットフォームの周りに構築されています。TOKYO ELECTRON Triasは、シリコンウェーハ、石英、低k誘電体、銅、タングステンなど、さまざまな材料のエッチング/アッシング処理を行うことができます。トライアスプロセス制御とチャンバプロセス最適化システムを使用して、精密なプロセス制御とさまざまなリアクター構成を実現しています。これらのすべての機能により、非侵襲的で低温のエッチング/灰を高収率で可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、ユーザーがローカルエリアネットワークまたはクラウドストレージとインターフェースし、プロセスファイルを転送できるように、安全性の高い超高速イーサネットポートを備えています。このプラットフォームには、ユニットイベント、製品完成、チャンバー温度/圧力、およびツールの合計実行時間を監視するために使用できる高度なエンドポイント制御ステータス監視もあります。TEL Triasは、高精度の部品と特許技術により、小さな機能の精密なエッチング/アッシングで優れた性能を提供します。最先端デバイスの高度な生産に必要な高い再現性、生産スループット、生産性をユーザーに提供します。このツールには、ユーザー入力とさまざまなツールからの入力を監視できる改善されたプロセス制御マシンがあり、ユーザーがプロセスパラメータを監視しやすくなります。TOKYO ELECTRON Triasは、ユーザーがクラウドコンピューティングソリューションを利用できるようにすることで、安全性と品質を向上させる使いやすいツールです。これらの機能により、ダウンタイムを短縮し、ユーザーは本番スループットと歩留まりを最大化できます。この次世代エッチング/アッシュプラットフォームは、強力で信頼性の高いパフォーマンスを提供し、今日の高度な半導体およびMEMSメーカーの要件を満たすように設計されています。