中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9357277 を販売中
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ID: 9357277
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
CVD System, 12"
Process: BL GL TiN Dep
BROOKS AUTOMATİON TLG-LON Load port, (3) FOUPs
SHINKO SELOP12F25-30A-13
SHINKO SBX92101286-3 FI Robot
FUJI M-UPS050J22L-UL UPS
SANEI GIKEN TL7KCPVB-2P Chiller
MPD
Transformer box
Mainframe:
YASKAWA XU-RVM4100 Buffer robot
V TEX I-I-98009-2-1 LLM1.2 Gate valve
KITZ DOUBLE ACTION Chamber gate valve
Process chambers: PM1, PM2, PM3, PM4
Single wafer chamber
With stage heater
RKC INSTRUMENT INC Module heater controller
TEL TMC2001 Module heater controller
Cubic trap
VERIFLO SQ-MICRO-602PUPGPA Regulator
LEYBOLD TSR211S Pirani sensor
INFICON VSA100A Pressure Sensor
MKS 626A01TDE Capacitance manometer
LEYBOLD CDG160A-S 1330PA Capacitance manometer (1333Pa)
LEYBOLD CDG160A-S 133PA Capacitance manometer (133KPa)
STEC VC131004ST20 Vaporizer (TiCL4)
Gases:
Gas / Make / Model / Valve
MFC2 / ClF3 / SAM / SFC1470FA / 500 SCCM
MFC3 / N2 / SAM / SFC1480FAPD / 0.6/2 SLM
MFC5 / NH3 / SAM / SFC1481FA / 5 SLM
MFC6 / NH3 / SAM / SFC1480FAPD / 300 SCCM
MFC7 / N2 / SAM / SFC1480FAPD / 0.6/2 SLM
MFC8 / NH3 / SAM / SFC1480A / 1 SLM
MFM / TiCl4 / STEC / SEF-8240 / 100 SCCM
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、複雑で高度な微細加工用途向けに設計されたエッチング/アッシャー装置です。高いスループットと優れたプロセス制御により、コスト効率の高い生産が可能です。正確なウェーハアライメントを実現する3軸ステージや、均一なエッチングを実現するオートマッピングユニットなどを搭載しています。ウェーハサイズは6インチから12インチまで対応可能です。また、各アプリケーションのエッチング時間を推定することができるため、ユーザーは生産スループットを最大化することができます。誘導結合プラズマ源を使用して、ウェーハ領域全体に均一なエッチングを提供します。TEL Triasツールは、汚染を低減するための高度なチャンバー設計を備えています。高性能な円筒形ポンプと、排気時間を短縮する大容量の収納ボックスを備えています。ボックスには、信頼性の高いエッチング条件を確保するための動的精製アセットも含まれています。このモデルは、生産性と品質を確保するためにプロセス自動化されています。オートフォーカス・システムとオートマッピングは、プロセスのセットアップと完了時間を短縮するために提供されます。統合されたエッチングチャンバーは、プロセス全体の均一性と再現性を考慮して設計されています。工程監視機能の完全なスイートも機器に組み込まれています。これには、プロセスパラメータのマルチチャネルのリアルタイム監視、リーク検出、圧力バランス監視、ウェーハアラインメント、およびその他のプロセスパラメータが含まれます。すべてのパラメータは、アプリケーションごとに調整可能です。また、セットアップ、操作、トラブルシューティングに関する包括的な情報データベースを備えたオンラインヘルプ機能も備えています。エラーレポートとアラームは、ユーザーがプロセス関連の問題をすばやく特定して対処できるように提供されています。最後に、このユニットには、エッチング処理中のオペレータの安全性と信頼性を確保するために設計されたいくつかの安全機能があります。これらには、正圧分離機、RF漏れ検出器、排気制御ツール、およびその他の安全機能が含まれます。
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