中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9357255 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、エッチング/アッシャー型表面加工機です。TEL Triasシリーズは、半導体基板のエッチングとアッシングの両方に特化して設計されています。特に、ファインピッチ回路のエッチング/アッシュ、超障壁エッチング/アッシュ、コンタクトメタルエッチング/アッシュ、トレンチエッチング/アッシュなど、さまざまなアプリケーションの要件を満たす一貫した処理結果を提供するように設計されています。TOKYO ELECTRON Triasシリーズは、ArとCF4の両方のガス供給システムで使用するために設計されており、ユーザーは特定のアプリケーション要件に合わせて結果を調整することができます。モジュラー設計を採用しているため、機器コンポーネントを簡単にアップグレードまたはカスタマイズして、容量と機能を増やすことができます。さらに、基板の手動または自動処理で動作するようにシステムを構成することができます。Triasの中心には、高周波の誘導結合プラズマ（ICP）源があり、最も正確で費用対効果の高いエッチングおよびアッシング操作を保証するように設計されています。ICPソースは調整可能で、基材やエッチング/アッシング動作に応じて電圧、電流、共振周波数を調整できます。この調節可能なICPソースは、より正確な処理だけでなく、より均一なエッチングと大きな領域上のアッシングを可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON Triasユニットは、オンボード真空ルーティングマシンを採用し、優れたスループット性能と均一なエッチングとアッシングを実現しています。この真空ルーティングツールはまた、ICPソースへの均一なガスの流れを保証します。動的温度制御機能は、ガス消費量を最適化しながら、繰り返しエッチングとアッシングの結果を提供するのにも役立ちます。さらに、TEL Triasは、基板の表面温度を維持し、エッチングおよびアッシングプロセスを正確に制御するのに役立つ効率的な熱管理アセットを提供するように設計されています。また、ウェーハ転送、ウェーハ個別冷却チャネル、プロセス監視システム、遠隔監視機能など、様々な機能を備えています。これにより、ユーザーは処理条件をリアルタイムで表示および監視し、一貫性のある結果と制限されたダウンタイムを確保できます。全体として、エッチング/アッシャーのTriasシリーズは、さまざまな材料加工業界にとって理想的な選択肢です。調節可能なICPソース、オンボード真空ルーティングモデル、および動的温度制御機能により、ユーザーはアプリケーションのニーズに合った正確で繰り返し可能なエッチングとアッシングの結果を得ることができます。TEL/TOKYO ELECTRON Triasシリーズは、エッチング/アッシング操作に最適です。