中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9355862 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、エッチングやアッシング処理に使用されるエッチャー/アッシャーです。ウェーハの一貫した高品質で高性能な表面処理を提供するように設計された先進的な装置です。多様なエッチングやアッシング用途に使用できる、汎用性と信頼性の高いシステムです。このユニットは、プラズマベースのエッチング、LPCVDエッチング、クラスターエッチングの3種類のエッチング/アッシングプロセスを提供する3段階の設計コンセプトTEL Triasに基づいています。特許取得済みのTOKYO ELECTRON Trias設計は、エッチング/アッシング工程ごとに時間を短縮し、3段階の設計を採用しているため、所定の工程に必要なエッチング/アッシング工具の数を大幅に削減できます。プラズマベースのエッチングステージは、エッチング型プロセスに高性能なプロセスを提供し、エッチング結果を厳密に制御し均一にすることができます。LPCVDエッチングステージは、熱誘発の方法論に基づいて構築されており、プロセスの再現性を向上させます。クラスターエッチングステージは、信頼性の高いエッチング/灰プロセスを提供するための真にユニークで効果的な方法を提供します。その特許取得済みの設計は、複数のガス相エッチング/灰プロセスを使用して、さまざまな基板の均一で精密なエッチングとアッシングを提供します。Triasマシンは、高度で洗練されたアプリケーションに理想的なエッチャー/アッシャーです。優れた性能、信頼性の高い再現性、均一な結果を提供します。さらに、浅いトレンチ絶縁（STI）からメモリデバイスの表面平面化まで、幅広い用途に使用できます。それはあらゆるエッチングまたはアッシングの必要性のための信頼でき、信頼できるエッチャー/asherです。