中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9311193 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは微細加工プロセスで使用されるエッチャー/アッシャーです。その目的は、表面から材料の薄膜を除去することです。エッチングは、原子や分子を制御された方法で除去することにより、材料の表面を形成するために使用されます。TEL Triasは、TELから、優れた性能と高いエッチングレート容量を提供する強力なエッチャー/アッシャーです。金属、半導体、絶縁体、レジスト、ポリマーなど幅広い材料の多目的エッチャー/リムーバーです。TOKYO ELECTRON Triasは、真空チャンバー、ガス配電装置、コンピュータ制御システム、プラズマ発生器、電極ヒーターで構成されています。プラズマ発生器はチャンバー内にプラズマ場を作り、エッチング工程のエネルギー源となります。エッチング処理は、ガスの流れ、圧力、ガス温度、電極加熱などのパラメータを調整することによって制御されます。TriasのElectroformed Nickel （ENI）チャンバーは、優れた再現性と正確な制御を備えた幅広い材料の加工を可能にします。プロセスコンパートメントは、Zerostopリングシールによってさらに強化され、ユニットの安定性とプロセス時間の両方が向上します。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、エッチング工程を最大限にコントロールできる、高度なコンピュータベースの制御機です。データ制御ツールは、プロセスに関連するすべてのパラメータを記録、保存、制御し、USB経由で簡単に転送できる最大1GBのプロセスレシピを保存することもできます。TEL Triasは、ガラス、薄膜、オプトエレクトロニクスなど、精密なエッチングで幅広い基板に対応できます。トーキョーエレクトロントライアスは、低消費電力、高速エッチング、高品質の最終製品で、半導体、ビジョン、産業用途に最適です。Triasは、均一性、化学、表面形態に関する厳しい基準を維持しているため、クリーンなエッチング工程で最高品質の結果を得ることができます。使いやすい制御資産と堅牢なハードウェアプラットフォームを組み合わせることで、一貫した高品質のプロセス結果によってさらに強化された最高のエッチャーの1つになります。