中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9311187 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、高度な微細加工およびナノ加工用途向けに設計された最先端のエッチング/アッシング装置です。このシステムは、単一のプラットフォームで正確なプロセス制御とともに柔軟なエッチング化学オプションを提供することができます。独自のデュアルチャンバー設計により、さまざまなウエハサイズ基板やエッチング化学製品の精密なプロセス制御が可能です。上部のチャンバーにはエッチプロセス化学物質が、下部のチャンバーにはチラーとガススラスタがあり、処理パラメータを調整します。このユニットは精密なエッチングパラメータ制御を提供し、エッチング結果が基板領域で再現可能な均一性で再現可能であることを保証します。TEL Triasは、ドライアッシング、ウェットニアオーバースピルエッチング（NOS）、ウェットケミカルエッチング、プラズマエッチングなど、さまざまなエッチング化学製品をサポートしています。これらのエッチングケミストリーにより、異なる種類の材料を単一のマシンで完全な互換性でエッチングできます。TOKYO ELECTRON Triasは、自動化されたプロセスレシピジェネレータとリアルタイムプロセスモニタリングにより、ユーザーフレンドリーに設計されています。また、ロードロックオートローダーなどの高度な時間節約技術を提供し、ウェーハの負荷時間を短縮し、手動転送による汚染を排除します。また、複数のウエハーを一度に積載できるマルチローディングツールを採用し、エッチング処理を高速化しています。この機械にまたバッチを繰り返すことを容易にする1000までの調理法を貯える機能があります。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、高度なエッチング/アッシング用途に不可欠な高度なプロセス制御機能も備えています。アセットには温度、圧力、およびガス制御システムがあり、正確なパラメータ調整、エッチング/灰の均一性と再現性の向上を可能にします。また、ウエハステージの超精密移動と正確なタイムコントロールを備えています。TEL Triasは遠隔障害診断機能も備えており、技術者や技術者が障害を迅速に特定し、是正措置を講じることができます。この機械はまたクリーンルームの環境の安全のために評価され、クリーンルームの使用法のために適したようにします。さらに、多言語インターフェースと包括的なユーザーマニュアルにより、操作とメンテナンスが簡単になります。TOKYO ELECTRON Triasは、高度な微細加工およびナノ加工アプリケーションのニーズに対応するために設計された高度な装置です。柔軟なエッチング化学、正確なプロセス制御、時間節約機能、信頼性の高い故障診断機能を提供します。ユーザーフレンドリーな機能と包括的な制御機能を備えたこのエッチング/アッシングシステムは、高度な研究開発業務に最適です。