中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9294442 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、半導体製造に使用される業界をリードするエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、シリコン、銅、タングステン、チタンなどの幅広い材料を処理する機能を備えています。材料を基板に堆積させるプロセスと、材料を基板からエッチングさせるプロセスの2つを使用して、最大70ナノメートルの解像度で特徴をパターン化します。これにより、今日の半導体製造で使用される先進的なテクノロジーノードに最適です。TEL Triasは、高効率で正確なデジタル制御を特徴とする半自動ツールです。特許取得済みの半導体技術により、エッチングやアッシング時に高い再現性と精度を実現します。このツールには多くの機能とアクセサリが組み込まれており、組み込みのプリキャリブレーションルーチンやネットワーク接続オプションなど、自動化とカスタマイズを強化できます。また、モジュラー設計と柔軟なプロセスチャンバーを備えており、さまざまなユーザーの要件に簡単に適応できるツールです。TOKYO ELECTRON Triasには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）があり、さまざまな処理パラメータを素早く設定し、ツールのパフォーマンスを監視できます。AFM （Embedded Atomic Force Microscopy）技術を活用し、ナノパターニング結果の高解像度画像化を可能にします。最後に、CAD/CAM、 EDA、 PDKソフトウェアなどの業界をリードする複数のソフトウェアパッケージと統合し、GDSII/OASISフォーマットファイルを直接サポートします。結論として、Triasは高度で汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。効率的なデジタル制御、モジュラー設計、直感的なGUI、および複数の統合機能により、半導体製造プロセスにおける小型で複雑なパターンの製造に最適です。そのハイエンドの機能と機能により、ユーザーはアッシングおよびエッチング処理中に優れた柔軟性と制御を可能にし、高い精度と再現性を実現します。