中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9290896 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、産業・学術研究開発用途に特化した汎用性、高速性、経済性に優れたエッチャー/アッシャーです。幅広い基板の薄膜材料を安全にエッチング、堆積、エッチングすることができます。TEL Triasは直感的なタッチスクリーンインターフェースを備えており、シンプルで効率的な操作が可能です。直径12インチ、厚さ0。5インチまでの基板に対応可能です。密封された部屋の内部は蝶番を付けられたドアによってアクセスされ、プロセス変数の便利な制御を可能にします。エッチング処理は、10〜50kHzの周波数範囲を持つ超高周波数ジェネレータによって駆動されます。エッチングパワーの正確な制御は、エッチングプロセスパラメータの最適化を可能にする調整可能な電源によって達成されます。また、金属蒸着制御用の定電流バイアス供給、高密度薄膜の蒸着を可能にする高エネルギーガスディストリビュータ、エッチング均一性を向上させる高電圧デバラストシステムなど、さまざまなハイテクオプションを提供しています。すべての薄膜のエッチング速度とエッチング選択性は、精密ガス流量コントローラで正確に制御できます。すべてのプロセスのパラメータを事前にプログラムすることで、オペレーションを合理化できます。トライアスは、安全、コンプライアンス、および環境保護を確保するように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、最も要求の厳しい研究開発アプリケーションの要件を満たすことができる、使いやすく信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。そのユーザーフレンドリーなインターフェースは、科学工学業界で働く人々にとって魅力的な選択肢です。