中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9284866 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、半導体装置のリーディングサプライヤーであるTELが製造するエッチャーです。TEL Triasは、半導体デバイス製造プロセスで重要な層をエッチングするために設計された中型エッチャーです。小型で生産ラインでの使用に最適ですが、高スループットなどの高度な機能により、高精度エッチングプロセスに適しています。TOKYO ELECTRON TRIASは、エッチングとエッチングを可能にし、エッチングとプロセスを幅広く可能にし、先進的な半導体デバイス製造などのハイエンド用途に適しています。エッチャーは、等方性ドライエッチング、反応イオンエッチング（RIE）、ウェットエッチングなど、さまざまなエッチング技術を提供しています。Triasは、薄い誘電体から極薄のシリコン層まで、さまざまなフィルムを加工するために構成および調整することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON Triasには、マルチメソッドプロセスオートメーションやエッジプロファイル最適化インターフェース（EPOI）など、エッチャーを特定のエッチングプロセスに最適に調整する技術が含まれています。TEL Triasには精密測定システムが搭載されており、エッチング速度、均一性、ドーピングプロファイル、およびその他のプロセスパラメータを正確に測定できます。これらのシステムにより、TOKYO ELECTRON Triasはプロセスの一貫性と安定性を維持することができます。また、生産環境の安全性を確保するために、火災やガス検知、過圧センサーなどの安全機能も備えています。また、複数のエッチングプロセスの選択、フォローアッププロセスの制御、レシピの生成、プロセスの自動最適化など、多くの高度な機能を備えています。これらの機能により、レシピを素早くカスタマイズして複雑なエッチングパターンを作成し、エッチングプロセス全体の効率と生産性をさらに向上させることができます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Triasは中規模生産ラインに最適なエッチャーです。その特徴と機能により、重要なエッチング処理に適しており、測定システムと安全システムを組み合わせることで、高精度な半導体デバイスのエッチングに適した設備が整っています。