中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9273449 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
ID: 9273449
ウェーハサイズ: 12"
System, 12" (8) Chambers Front end Wafer transfer module Electrical cabinet.
TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、業界をリードする高品質の精密エッチング/アッシング機器です。その優れた設計により、利用可能な最も技術的に高度なエッチャーの1つであり、さまざまな用途で高精度の部品を一貫して製造することができます。TEL Triasは、ドライエッチング、リアクティブイオンエッチング(RIE)、スパッターエッチング、レーザーアブレーションによるアッシングなど、さまざまなエッチングおよびアッシング技術を使用するように設計されています。薄膜成膜やエッチングプロセスからマーキング、STI (Shallow Trench Isolation)アプリケーションまで、幅広い用途にご利用いただけます。さらに、システムは最先端の制御と精密機能を備えています。ユーザーフレンドリーなプログラミングインターフェイスにより、精密で繰り返し可能なエッチング/アッシングプロセスが可能です。自動モニタリングユニットは、毎回一貫性のある結果を保証するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON Triasは、エッチング精度とアッシング精度に優れた高精度の3段コーティングチャック機を搭載しています。このチャックツールは、複数のエッチングおよびアッシング操作を実行するため、またはリトラクタブルまたは調整可能なサポートピンを使用するために使用できます。これにより、ユーザーはさまざまな複雑なエッチングとアッシングタスクでTriasをタスクできます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON Triasはコンパクトで柔軟性に優れた設計になっています。その小さなフットプリントは、コストを抑え、必要に応じて迅速に再構成できるため、さまざまなタスクに使用できます。すべてにおいて、TEL Triasは、正確な結果を時間と時間を繰り返すことができる優れたエッチング/アッシング資産です。その汎用性の高い設計は、プロフェッショナルな生産アプリケーションの広い範囲に理想的です、その制御と精密機能は、信頼性と一貫性を確保するのに役立ちます。
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