中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9261888 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、高いスループット、実績のある長期性能、優れたプロセス歩留まりを提供する高度なエッチャー/アッシャーです。この装置は、自動化されたシステムアーキテクチャを備えており、ユーザーはエッチングとアッシングプロセスをすばやく切り替えることができ、ユニットの能力を拡大します。マルチチャンバー設計により、エッチングとアッシングプロセスの両方を同時に実行でき、生産ラインでの最大限の使用率と柔軟性をユーザーに提供します。TEL Triasは優れたエッチングレートの均一性を備えており、薄線面のバッチサイズが限られ、高エッチングレートでのエッチングが可能です。この自動チャンバースイッチ技術により、ユーザーはサイクルタイムを1秒小さくすることができ、ツールの効率が向上します。また、複雑な設計ガイドラインに基づいて生産プロセスを最適化し、製品の品質と信頼性を向上させます。高精度のダイレクトドライブロボットプラットフォームと高度な入出力制御装置により、複雑なパターンを高精度にプログラミングできます。ダイレクトドライブロボットプラットフォームによって測定されるエッチング速度は非常に正確であり、ライン設計誤差を低減します。また、PPF （Process Parameter File）機能も搭載しており、チャンバ移動時にプロセスパラメータを複製することができます。このユニットは、フィードバックループを備えたモーションコントロールマシン、最小調整パルス時間、高効率パワードライバ、および高度なジョグランシステムを備えた堅牢で信頼性の高い設計です。ユーザーは、生産要件に合わせて実行時間をカスタマイズすることもできます。さらに、このツールには高度なSPC （Statistical Process Control）と最適化機能が装備されており、製品の品質とプロセス効率をさらに確保します。TOKYO ELECTRON Triasは、精密エッチングやプラズマアッシングなどの用途に最適です。高度な機能、堅牢な構造、使いやすさを備えたTriasは、プロセス歩留まりの向上と製品品質の向上により、ユーザーが希望する製品を達成するのに役立ちます。