中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9261887 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、プラズマエッチングとアッシングのための高度で柔軟なプラットフォームです。それは今日の挑戦的なプラズマアッシャーおよびエッチャーの適用の厳密な要求に応じるように設計されています。モジュール式の設計と堅牢な構造により、さまざまな処理要件において信頼性が高く、ウエハーのサイズは4インチから8インチまでです。TEL Triasの高度な機能には、揮発性プラズマとプロセスチャンバー間の保護層を提供する耐久性のある石英セラミックシールドライナーが含まれています。このライナーは、ケミカルバック拡散を排除し、機器を好ましくは最も敏感なプロセスに適しています。また、特許出願中のRF電極設計も備えており、エッチングおよびアッシング時に最大限のエネルギー制御を保証します。この電極はインダクタンスが低く、最適化された上部電極設計を備えており、均一なエッチングとアッシングプロセスを保証します。これらの特徴に加え、低乱流ガスフロー設計により、エッチング・アッシング工程の均一性と再現性を最適化し、低乱流ガスフローパターンを作成します。ガスフローは、ウェーハ全体に分布する不均一性を最小限に抑えるのに役立ち、高い収率で一貫して均一なプロセス結果をもたらします。また、幅広いプロセスパラメータを備えているため、ユーザーはさまざまなアプリケーションのエッチングとアッシングプロセスを調整できます。高度なソフトウェアパッケージは、プロセス構成からサンプルのロードと処理まで、各ステップを通じてオペレータをガイドします。この柔軟性により、ユーザーはTriasを特定のニーズに簡単に適応させたり、新しいプロセスを迅速に開発したりすることができます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Triasは高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーユニットです。特徴の組合せはそれをさまざまなプロセス条件のために適したようにし、適用範囲が広い操作は構成し、作動することを容易にします。このマシンでは、ユーザーは特定のアプリケーションに関係なく、一貫して高品質の結果を得ることを確信することができます。