中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9241671 を販売中

ID: 9241671
ウェーハサイズ: 12"
CVD System, 12" (4) Process chambers (TiN) Front end station Transfer module (4) Additional chambers included.
TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、エッチング、パターニング、ストリッピングという高度な技術を1台のダイレクト機器に統合した完全自動エッチング機です。このコンパクトで堅牢なシステムは、エッチング技術の最新開発とユーザーフレンドリーなインターフェイスと正確な処理を備えています。その結果、汎用性が高く、半導体業界の様々な用途に最適です。TEL Triasは、プラズマ反応イオンエッチング(RIE)や化学蒸着(CVD)などの最新のエッチング技術を搭載しています。また、クォーツボート、ポテンショスタット、電源ユニットも備えており、パターン転送プロセスを完全に制御できます。トーキョーエレクトロントライアスは、革新的なレーザーアドレッシング機能により、ミクロンスケールの精度までエッチングしてパターン化することができます。トライアスには、高度なリーク検出器と圧力計マシン、および完全に囲まれた処理スペースなど、多くの安全機能が装備されています。これらの特徴は、大気が安全で危険な粒子から解放されていることを保証し、最適な表面清浄性を確保するのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON Triasのユーザーインターフェイスは直感的で使いやすく、効率と生産性を最大限に高めます。トップパネルはカラーキーで4つのセクションに分かれており、すべてのイーサネットおよびPLCデバイス設定機能にアクセスできます。大型タッチスクリーンモニターは、操作プロセスをさらに簡素化します。TEL Triasは、自動基板/サンプル搬送ツール、エレクトロメータアセット、統合ストリップ機能など、さまざまなオプション機能を提供します。これらの機能は、多種多様なプロセスアプリケーションにさらに多くの電力と柔軟性を提供します。TOKYO ELECTRON TRIASは、最新のエッチング技術とパターニング技術を組み合わせた、高性能で汎用性の高いエッチング機です。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、豊富なオプション機能、高度な安全機能を備えたTriasは、多数の半導体処理タスクに最適です。
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