中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235251 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、さまざまな半導体プロセスおよびアプリケーション向けに設計された最先端のエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、金属、酸化物、およびポリマーを含む幅広い材料をエッチングおよび灰にすることができます。また、線、穴、ピット、フィーチャーなどの非常に精密な微細構造を作成するために使用することができます。このユニットは、無線周波数（RF）、中間周波数（MF）、および直流（DC）電源とさまざまなエッチングおよび灰の化学構成を組み合わせた高度なプラズマ源によって駆動されます。プラズマ源は非常に調整可能で、オペレータはエッチングとアッシングのプロセスを微調整できます。この機械には、真空チャンバー、シャワーツール、ビジョンアセット、ロードロック、プロセスコントローラが装備されています。このモデルは直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーはプロセスを素早くセットアップしてトラブルシューティングすることができます。すべてのパラメータは、エッチングおよびアッシングパルス幅、ラインおよびスペース幅、およびその他の重要なエッチングおよび灰の反応特性など、幅広い範囲で調整可能です。機器はまた、現場での測定とエッチングと灰の完了ポイントの制御を備えています。システムの自動化された意思決定アルゴリズムにより、プロセスの不安定性を予測、予防、回避することができ、信頼性とコスト効率に優れた長年の運用が保証されます。ユニットの柔軟な設計により、エッチングおよびアッシャー業界での最新のプロセス機器および開発で簡単に変更およびアップグレードすることができます。最後に、このマシンはアフターセールスサービスエンジニアと技術者のグローバルネットワークによって支えられており、ユーザーがエッチングとアッシャーシステムを最大限に活用できるようにしています。TEL Triasは、さまざまな半導体エッチングおよびアッシングプロセスおよびアプリケーション向けの先進的なソリューションであり、優れたプロセス性能、耐久性、および費用対効果の高い投資をユーザーに提供します。