中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235229 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、半導体デバイスの製造に使用されるエッチャー、またはアッシャーです。レジストストリップ、ウェットエッチング、スパッターエッチング、デカムなど、さまざまなエッチング関連プロセス用に設計されています。無線周波数（RF）電力を利用して、TEL Trias装置は精密で再現性のあるエッチング結果を得ることができます。このシステムは、プロセスチャンバー、真空ポンプ、RFジェネレーター、およびイオン化ガス供給ユニットで構成されています。プロセスチャンバーには、一度に最大4つのウェーハを収容できます。プロセスチャンバーは温度制御され、汎用性があり、プロセスと環境汚染の両方に耐性があります。また、トライアスマシンには真空ポンプが搭載されており、最大5×10-6トーラーまで対応できます。RFジェネレータは、低消費電力のウェットエッチングから高出力まで、さまざまなプロセス要件に合わせて調整可能な電力レベルを生成します。RF力は2つの独立して調節可能な平面電極によってサンプルに加えられ、複雑なパターンを容易にエッチングすることを可能にします。このツールのガス供給アセットは、エッチング速度とエンドポイント検出を正確に制御し、正確なエンドポイント制御を可能にします。このガス供給モデルは、エッチング処理による不要な影響を最小限に抑えるのにも役立ちます。Trias機器には、製品レシピを保存し、エッチングされた構造を分析し、リアルタイムで結果を提示することができるプロセス可視化ソフトウェアパッケージが含まれています。このソフトウェアパッケージは、エッチングプロセス全体を簡単に制御および監視することができ、正確で繰り返し可能なエッチングジョブのための汎用性の高いプラットフォームをユーザーに提供します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Triasエッチングシステムは、ユーザーフレンドリーなプロセス制御と使いやすいインターフェースにより、半導体デバイスの精密かつ再現性の高い製造を可能にします。高度な機能を備えたこのユニットは、効率的で信頼性の高いエッチング操作のための強力なツールです。