中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9234139 を販売中
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ID: 9234139
ヴィンテージ: 2013
System, parts machine
Missing parts:
EFEM: Main PC / Robot controller
Transfer module: TM Robot / Robot controller
Process chamber: ESC
2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、金属蒸着前のウェーハ表面の活性層作成に使用されるエッチング/アッシャー装置です。このシステムは、乾式プラズマ技術を使用したアニオン蒸着用のインラインエッチング/発酵チャンバーであり、入口から反応チャンバーへのカスタム源ガス混合物を利用しています。TEL Triasユニットは、フィールドエフェクトトランジスタ（FET）などの高精度デバイスの製造に適しています。ウェーハ径は18mmから800mmまで対応可能で、300mmと450mmは生産に使用される標準サイズです。酸化エッチング、窒化エッチング、ポリシリコンエッチング、金属スパッターエッチングなどのプロセスは、エッチング速度、選択性、均一性、およびイオン不純物を正確に制御して実行できます。流体からの汚染を最小限に抑え、プリセットレシピを活用します。TOKYO ELECTRON Triasマシンは、補助工具を必要とせずに、0。3 μ m〜10 μ m以上の範囲でエッチングプロファイルを機能制御することができます。2周波数の電源を利用して、反応室内で強烈で自己安定な乾燥プラズマを生成し、イオン発生を制御します。これにより、カスタマイズ可能なソース・ガス混合物とともに、高効率で精密なエッチング結果を得ることができます。このツールはまた、ウェーハステッパーの互換性を提供し、迅速なウェーハ転送と優れた全体的なウェーハプロセス結果の保証を可能にします。また、このアセットにより、1分間に最大20個のウェーハのスループットと完全なウェーハマッピング機能が可能になります。さらに、Triasインラインエッチング/発酵チャンバーは、さまざまな反応パラメータを制御することができます。圧力と温度の測定、質量分光、グラファイト炉の動作など、再現性を確保するための監視オプションが多数付属しています。TEL/TOKYO ELECTRON Triasモデルは、高効率で精密なエッチング結果により半導体製造に広く活用されており、エッチング/アッシャーの分野で最も人気のあるシステムの1つです。優れたガップフィルとトポグラフィー機能を備えた熱酸化物層、優れた移動性と選択性の値を作成できることが証明されています。精度と信頼性を兼ね備えているため、高度な電子機器の製造において貴重なツールとなります。
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