中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9162309 を販売中
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ID: 9162309
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
CVD System, 12"
(1) Trias platform
(1) UVRF Module
(1) High-K CVD module
(1) SPA-N Module
(1) LPA Module
Includes:
Carrier ID reader
(2) Light stacks
Transfer navigation system
3rd Loadport
UPS
FFU Chemical filter
Maintenance kit
Rear step(UVRF / High-K / SPA-N)
(3) TC Wafers
Floor plate
OES Monitor(SPA-N)
Gas filter(SPA-N)
(1) TEL Standard CIM / FA
(1) Linux OS modification for CND2
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、TELが製造するエッチング/アッシング機器です。TEL Triasは、製造工程の精度や品質を犠牲にすることなく、サイクルタイムを短縮するために設計されています。この機械には、高速プラズマ処理、リソグラフィ機能、プラズマアシスト洗浄などの高度な機能が搭載されています。また、半導体デバイスの高精度エッチングを提供し、サブハーフミクロン分解能を実現する高密度プラズマを提供します。また、エッチング工程の均一性に優れ、銅、アルミニウム、タングステン、ロッドなどのエッチング材料を幅広く提供しています。また、エッチング防止電子部品の製造を可能にする多種多様な選択性比をエッチングすることができます。機械は50nmまでの精度の材料の多数の層をエッチングするのに使用することができます。また、この機械の特筆すべき点は、生産プロセス全体を通じて高い信頼性と品質を維持する能力です。これは、高度な診断とリモート制御機能を使用してオンザフライの最適化を実現します。また、TEL/TOKYO ELECTRON Triasは長期的な総所有コスト最適化のために設計されており、モジュラー設計により、効率的な生産ラインを確保するための簡単でコスト削減のアップグレードが可能です。その上で、機械は非常にユーザーフレンドリーであるように設計されています。TEL Triasは直感的なメニューと簡単に操作できるため、量産ニーズにお勧めです。また、ツールレスの独自のメンテナンス機能を備えているため、オペレータは故障を迅速かつ簡単に修復し、ダウンタイムを最小限に抑えて予防的なメンテナンスを行うことができます。TOKYO ELECTRON Triasは、半導体エッチングの品質と精度を提供するために設計された最先端の製造プロセス機器です。高度なプロセッサと幅広いプラズマアシストエッチング機能を備えたこのマシンは、高密度、多層材料の費用対効果の高い精密エッチングを必要とする人に最適です。
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