中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9158471 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、半導体デバイス製造用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。ウエハーの製造工程において、一般的にサブミクロン寸法のシリコンウェーハ上にパターンを作成および修正するために使用されます。TEL Triasは、超高真空互換性と高速スループットをコンパクトなツールに組み合わせた4面ウェーハエッチング機です。その堅牢な構造は、長期的なプロセスを提供します。TOKYO ELECTRON TRIASは-20°C〜600°Cの温度が可能で、エッチング、酸化、拡散、埋め込みなど幅広いプロセスを可能にします。Triasには、80 MHzの水晶共振器が搭載されており、時間に依存した処理が可能です。また、ウェハの自動転送や中央データ管理システムなど、さまざまなタイムセービング機能を備えています。これらの機能により、TEL/TOKYO ELECTRON Triasはメンテナンスが容易で、ダウンタイムを最小限に抑えた信頼性の高い動作を実現します。TEL Triasはプロセス条件の変化に迅速かつ正確に反応します。そのデュアルスプレーカソード設計は、2つのプロセスガスのみを必要とし、広範囲の動作圧力に対するエッチング速度を正確に制御します。低温、高出力の純粋な酸化物源は、熱予算を最小限に抑え、安定したプロセス条件を提供します。TOKYO ELECTRON Triasは、高度な安全機能を提供し、オペレーターの安全と安心を確保します。オンボードのRFIDリーダーはオペレータをウェーハ表面から保護し、プロセスチャンバーフィルタは超微粒子を捕捉することによって環境を保護します。エッチングプロセスを合理化および自動化することにより、Triasは半導体デバイスの製造における柔軟性、再現性、および費用対効果を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、柔軟性、高性能、安全性を備え、最新の半導体デバイス製造に不可欠なツールです。