中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9118411 を販売中
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ID: 9118411
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Chemical Vapor Deposition (CVD) system, 12"
Cassette to cassette
(2) TiCl4 Ti
(2) TiCl4 TiN
Transfer
Load lock: A and B
KOGANEI Gauge
STEC VC131004ST20 Vaporizer
Pump:
LLM Dry pump
TM Dry pump
(5) Dry pumps
Valve:
FUJIKIN Manual valve (N2-1/N2-2/N2-PF/Ar)
Manual valve (Dry air line)
(2) LLM1.2 Door valves
(2) V TEX I-I-98009-2-1 Gate valves
KITZ Gate valve
Regulator:
VERIFLO SQ-MICRO-HF-50-2P-UPG-601 (N2-1/N2-2)
VERIFLO SQ-MICRO-130E-50-UPG-6405 (N2-PF)
VERIFLO SQ-MICRO-602PUPGPA (Ar)
KOGANEI SQ-MICRO-30-2P-UPG-6028
VERIFLO SQ-MICRO-602PUPGPA (Dry air line)
Sensor:
(2) SUNX DP2-22 Pressure sensors
LEYBOLD PS.12/PS.32 TSR211S
LEYBOLD PS.31 INFICON VSA100A
LEYBOLD TSR211S Pirani sensor
Filters:
N2-PF
Dry air line
Manometer:
MKS 626A01TDE
LEYBOLD CDG160A-S 1330PA
LEYBOLD CDG160A-S 133PA
RF Power:
KYOSAN HFK15Z-TW1 RF Power supply
KYOSAN EAKIT RF Matcher
MFC:
Make / Model / Gas / Value
HITACHI / SFC1470FAMC-4UGLN / CLF3 / 500 SCCM
HITACHI / SFC1480FAMC-4UGL / Ar / 2 SLM
HITACHI / SFC1481FAMC-4UGLN / He / 5 SLM
HITACHI / SFC1480FAPDMC-4UGL / NH3 / 600/2000 SCCM
HITACHI / SFC1480FAMC-4UGL / N2 / 2 SLM
- / - / Ar 300 SCCM
/ - / N2 300 SCCM
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、金属、半導体材料、セラミック基板など、幅広い素材で一貫したエッチング結果を得るために設計された高速エッチャー/アッシャーです。高度な真空エッチング技術を活用し、高精度・再現性を実現しています。エッチャー/アッシャーは、スパッタエッチング、エッチバックまたはストップエッチング後のフォトレジストプランアライゼーション、フィルム応力緩和、手の届きにくい領域での凹凸形成など、さまざまな用途で使用できます。エッチャー/アッシャーには、エッチング/アッシング領域を正確に制御できる真空装置が装備されています。これは、高度なエッチングチャンバーとシステム内のクリーンルームのレベルを維持する真空シールドを備えています。さらに、エッチング条件を正確に測定・設定するための光学ユニットとオートコリメーションプローブ（ACP）を搭載しています。このエッチャー/アッシャーには、幅広い材料をエッチングするためのエネルギーを提供する強力な高周波RFジェネレータが装備されています。エッチングプロセスは、統合されたコンピュータマシンによって監視および制御され、処理される材料に応じてエッチングパラメータを微調整するためにも使用できます。このツールには、処理パラメータを調整し、エッチング速度を測定し、処理結果をコンパイルするソフトウェアも装備されています。このエッチャー/アッシャーには、さまざまなアプリケーションに使用できるさまざまな機能とツールが装備されています。例えば、エッチングチャンバーに反応性ガスを導入するためのガス資産と、エッチング中に化学物質を追加するための化学供給モデルがあります。さらに、ウェーハなどのエッチングや平面化に使用できる高温陽極酸化チャンバーを備えています。安全面では、エッチャー/アッシャーを停止するための特別な緊急停止（E-STOP）機能、オゾンフリーの排気装置、準拠した場合にRF発電機をオフにする自動シャットオフ機能などの安全機能を備えたTEL Triasが設計されています。また、オゾンの危険レベルを検出するための自動安全装置も備えています。TOKYO ELECTRON Triasは、幅広い素材で一貫したエッチング結果を得ることができる高性能エッチャー/アッシャーです。高度なエッチング技術、安全機能、さまざまなエッチングやアッシング処理のためのさまざまなツールを備えており、さまざまな半導体デバイス製造アプリケーションに最適です。
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