中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293824452 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasはコンピュータ制御プラズマエッチャーアッシャー装置です。研究室専用に設計されたこのシステムは、簡単で正確なプロセス最適化のために作成され、ユーザーはユニットのパフォーマンスを損なうことなく、望ましいエッチングとアッシングプロファイルを達成することができます。その包括的なデザインには、自動ウェーハ位置検出技術やグラフィカルユーザーインターフェイスなどのユーザーエクスペリエンスを高める機能が組み込まれています。TEL Triasマシンには、高性能な自動エッチングおよびアッシングソース技術が搭載されており、ユーザーは最高レベルの精度と制御を得ることができます。堅牢なチャンバー部品を備えた高度なプラズマ処理炉を使用して、このツールは数分で均一で高品質な結果を保証します。また、東京エレクトロントライアスでは、さまざまなパラメータを簡単に調整できる幅広いプロセスウィンドウを提供しており、エッチングやアッシングプロファイルの微調整が可能です。Triasには、プログラム可能な超高速のソース切り替え時間があり、ユーザーはパフォーマンスを低下させることなく、プロセスの途中でソースを切り替えることができます。このアセットには、空気浸入またはチャンバーの偶発的な持ち上げによるガス漏れを防ぐ真空シール機構も組み込まれています。画期的なウェーハ位置検出技術は、ウェーハ角度を考慮しており、ユーザーは可能な限り最高のエッチングまたはアッシングプロファイルを達成することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、直感的なタッチパネルディスプレイにより、エッチング/アッシングプロセスパラメータのグラフィカルな表現を拡大し、読みやすく理解しやすくなります。このモデルはOPCデータもサポートしており、現在のエッチングプロセスを合理化できる外部デバイス制御ツールを開きます。さらに、TEL Triasは別の端末からプログラミング入力を受信することができ、ユーザーは追加のソース機器操作とプロセス絶縁制御を実行することができます。TOKYO ELECTRON Trias（トーキョーエレクトロントライアス）は、研究室の包括的なツールセットを提供するために設計された、高度で正確なプラズマエッチャーアッシャーシステムです。業界をリードする最先端の技術と、ウェーハ位置検出やOPCデータ通信などの排他的な機能をサポートするTriasは、最高レベルのプロセス最適化を目指す研究者にとって不可欠なツールです。