中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293821470 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、半導体用電子部品、回路、ウェハの製造に使用される先進的なエッチャーアッシャープラットフォームです。この装置は、ウェットエッチング/ストリッピングおよび蒸着/リフトオフ処理を提供し、複合材料の複数の層と異なる厚さを基板にパターン化することができます。TEL Triasは、上下に垂直チャンバーで接続された3段システムを備えています。上部のチャンバーはウェーハの移動およびクリーニングのために使用され、下のチャンバーはエッチングおよび除去のために使用され、縦のチャンバーはウェーハの温度、ウェーハの地形およびマスクおよび抵抗の層の合致を制御するために使用されます。最大8インチウェーハまで対応可能で、最小フィーチャーサイズは0。6ミクロンです。半導体ウェーハ、薄膜トランジスタ、MEM （Microelectromechanical Systems）などの微細基板の加工に最適です。空気圧制御バルブは、基板の繊細な特徴を損なうことなく、エッチング剤と溶媒を正確に制御することができます。東京電子トライアスには、製造された半導体の可視化や欠陥検出、ミスアライメントなどの不一致、厳格な品質管理のための顕微鏡などのイメージングツールが搭載されています。さらに、サンプルローダーやダブルアップ注入システムなどの高度なオートメーションコンポーネントが装備されています。これにより、材料の加工を容易かつ効率的に行うことができます。このツールには、窒素パージ資産や消火器などの高度な安全機能も装備されています。これは、エッチング工程中の化学物質の混入による汚染やその他の潜在的な危険を軽減するのに役立ちます。Triasは堅牢で信頼性の高い性能を備えているため、高品質で精密な半導体製品の製造が可能です。コンパクトなため、ほとんどの実験室環境に適しています。また、化学廃棄物や機器廃棄物を最小限に抑えるように設計されているため、コスト効率に優れています。さらに、装置はすべての環境規制を満たしており、環境への影響を最小限に抑えるように設計されています。