中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293778167 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、集積回路の構築において半導体ウェーハの複雑なパターンや形状を作成するために使用される高度なエッチャー/アッシャーです。TEL Triasはコンピュータ制御ステージと連動し、簡単かつ正確に正確な結果を出すことができます。東京電子トライアスは、トランジスタ、ダイオードなどの電子部品の製造に使用されています。Triasには高圧バッチエッチング装置（HEBS）チャンバーがあり、正確な厚さ制御で高アスペクト比エッチングが可能です。このチャンバーは、時間、温度、圧力、化学などのエッチングパラメータを正確に制御できます。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、高精度な機能寸法と再現性を実現するため、スピンオンフォトレジストコーティングシステムを採用しています。TEL Triasの統合プロセス制御ユニットは、強力なリアルタイム制御機能を提供するように設計されています。このマシンは、チャンバー内のプロセスパラメータ、レシピ、変数を監視、校正、管理します。また、生産品質を維持し、プロセスパラメータを許容範囲内に保つのに役立ちます。洗練されたプロセス制御ツールを使用すると、プロセスパラメータや環境条件の変化に合わせて即座に調整することができます。TOKYO ELECTRON Triasは、効率的で再現性が高く信頼性の高いエッチングプロセスを提供し、今日のプロセス要件に適応しています。高性能エッチングと蒸着プロセス、均一な表面仕上げ、高度なプログラム管理機能により、Triasは画期的なパフォーマンスを提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、0。1〜150リットルまでの放電が可能で、直径4インチまでのウェーハ加工が可能です。TEL Triasは、プロセスエラーや汚染物質を予測、監視、防止するためのインテリジェントなアラームアセットも備えています。TOKYO ELECTRON Triasは、精密な制御と再現性のある性能を提供し、信頼性の高い結果を保証する高度なエッチャー/アッシャーです。高性能エッチング、高度なプログラム管理機能、インテリジェントなアラームモデルにより、Triasは高いスループットと長寿命で信頼性の高い結果を提供します。