中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293767140 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、デバイス製造の研究開発や幅広い半導体デバイスの製造に特化したプラズマエッチング装置です。これは、現代のMEMSおよび関連デバイスの製造のために同じチャンバー内の単一または複数のパターン層をエッチングすることができます。TEL Triasは、低周波プラズマ源を使用して、異なるパターンのエッチング損傷を最小限に抑えながら、生産性を向上させます。また、高精度プラズマエッチング機能を幅広く搭載し、高解像度かつ高精度なデバイスの製作が可能です。TOKYO ELECTRON Triasユニットは、プロセス制御と生産能力の向上により、先進的な半導体部品の製造に最適です。トライアスには魅力的なエッチングマシンになる多くの機能があります。例えば、熱管理ツールが改善されており、内部ヒーターとクーラーの助けを借りて急速な冷却と回収時間が可能です。さらに、高度なAFC （Automatic Frequency Control）機能を搭載し、プロセスの一貫性を確保し、スループットと生産性を向上させます。さらに、プラズマ状態をリアルタイムで監視および制御し、潜在的な問題をすばやく認識するための診断機能が組み込まれています。これにより、高いレベルのプロセス再現性と信頼性が保証されます。TEL/TOKYO ELECTRON Triasには、さまざまなエッチング機能を備えた専用エッチングチャンバーも用意されています。例えば、専用チャンバーはディープエッチング、浅いエッチング、反応性イオンエッチングを可能にします。さらに、マルチポイントバイアスプレートやマルチレベルのエンドポイント検出装置など、エッチング品質を最大限に引き出す高度な部品を多数搭載しています。最後に、TEL Triasは簡単に操作できるように設計されており、さまざまなソフトウェアとユーザーインターフェイスが付属しています。例えば、統合されたタッチスクリーンパネルを介して制御することができ、ユーザーはディスプレイから直接エッチング処理を監視および制御することができます。さらに、システムはさまざまなソフトウェアパッケージと互換性があり、ユーザーはエッチングレシピを作成してエッチング結果を評価することができます。TOKYO ELECTRON Triasは、幅広い半導体ニーズに対して信頼性と再現性の高いエッチング性能を提供します。高度なエッチング機能と豊富なプロセス制御機能により、最新のMEMSおよび関連デバイスの製造に最適です。