中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293754398 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、IC製造や液晶パネルなど、半導体やその他の関連産業で一般的に使用される最先端のエッチャー（またはアッシャー）です。タブレット型ウェーハに反応ガスを使用したエッチング・洗浄が可能です。TEL Triasは、インテリジェントな技術とツールを組み合わせて、プラズマ源の制御、超高真空技術、その他様々なプロセス技術など、精密なエッチングを実現しています。TOKYO ELECTRON Triasは、低消費電力で、非常に高いレベルの制御、精度、信頼性で動作できる多くの高度な機能を備えています。エッチャーは、先進的な3つのビーム源、マルチサーボフレキシブルガスミキシングシステム、ハイエンド温度および圧力制御システム、カスタマイズ可能なエッチングチャンバーを備えています。これらの機能により、Triasは、最も複雑なウェーハおよび必要な表面仕上げに正確なエッチングを提供できます。エッチャーには、さまざまな種類のウェーハに最適なエッチングパラメータを選択する機能、結果をカスタマイズするプロセスパラメータを設定する機能、同じエッチング結果を繰り返すカスタムレシピを作成する機能など、多くのプログラム可能な機能が含まれています。また、安全運転を確保するために安全メカニズムを統合しています。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、優れた性能、精度、信頼性を提供する使いやすい制御および監視システムを備えた信頼性の高い生産プラットフォームです。シリコン、石英、アルミニウムなどの様々な構造物や材料のエッチング、クリーニング、アッシングが可能で、汎用性と柔軟性を提供します。高品質を維持しながら、時間とコストを削減する近代的な生産設備に最適です。