中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293689274 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、誘導結合プラズマ（ICP）技術を利用して、石英、ガラス、シリコンウェーハ、金属などの幅広い材料を正確にエッチングするエッチャー/アッシャーです。TEL Triasは、マルチプロセスモジュールで構成される先進的なエッチング装置であり、厚さと再現性を正確に制御する必要がある標準的なエッチングとファインパターンエッチングの両方を実行する機能を備えています。TOKYO ELECTRON TriasのICPソースには、アルゴン、水素、ヘリウムなどの不活性ガスを含む高周波電圧発生器と大型ガラスエンクロージャが組み込まれています。ICPソースは、制御されたエネルギーレベル、温度、圧力を持つプラズマを作成するために使用され、多種多様な材料の正確なエッチングを可能にします。Triasのソフトウェアインターフェイスは、お客様の特定のニーズに簡単にカスタマイズできます。これには、さまざまなプロセスパラメータと組み込みパラメータが含まれており、必要に応じて調整および変更することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、発掘された材料をウェーハ表面に均等に配分する均一なガス配分システムを備えており、エッチングの深さと抵抗の均一性を実現しています。均一な温度制御ユニットにより、エッチングプロセスを正確に制御し、再現性と一貫した高品質の結果を保証します。TEL Triasのインターフェースにより、ユーザーはプロセスパラメータを追跡し、傾向を分析し、顧客指定のニーズに応じてエッチングプロセスを調整することができます。TOKYO ELECTRON Triasは、安全性に関して、お客様の安全規制や要求事項を満たすように設計されており、自動警報、圧力・流量監視、排気装置、蒸気回収などの包括的な安全機能を提供しています。結論として、Trias etcher/asherは、さまざまな材料の精密なエッチングと微細なパターンエッチングを実行し、優れた安全機能を提供することができる高度なエッチングツールです。