中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293677520 を販売中
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タップしてズーム
ID: 293677520
ヴィンテージ: 2006
Metal CVD system
Process: Ta₂O₅
(2) Chillers
(3) Chambers
Loader
Waste gas treatment system
Uninterruptible Power Supply (UPS)
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、半導体マイクロファブリケーション業界で使用される集積回路のエッチャーです。TEL Triasは、高精度のプラズマ強化化学蒸着（PE-CVD）プロセスを使用しており、優れた制御性、再現性、高レベルのプロセス柔軟性、および大量のスループットを提供します。リアルタイムデータのフィードバックやウエハモーション測定には、インテリジェントコントロールシステムを採用しています。特にギャップ充填に関しては、密閉されたギャップフィルモード蒸着により、深い孔と非常に狭い隙間を高精度の蒸着で埋めることができます。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、ギャップ充填とは別に、トランジスタやコンデンサなどの基本回路部品の作成に必要な高いアスペクト比の構造をエッチングするなど、複雑なエッチングにも使用できます。TEL Triasの密閉構造により、化学的露出を低減し、効果的なだけでなく安全性も確保しています。また、TOKYO ELECTRON TRIASでは、高度なプロセス制御（APC）システムを提供しています。このシステムは、エッチングパラメータの自動最適化を可能にし、プロセスが常に最適に動作していることを保証します。また、シャッター、ウェハトランスファー、サンプル交換などのチャンバーアクティビティを備えており、操作が容易で安全です。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、一貫したパフォーマンス、信頼性の高いプロセス管理、および高スループットが不可欠な大量生産環境での使用に最適です。高度な機能と実績を誇るTEL Triasは、半導体メーカーが最高品質の集積回路を生産するのに役立つ信頼できるツールです。
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