中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293652308 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TriasはTEL （TOKYO ELECTRON） CORPORATIONが設計・製造したエッチャー/アッシャーです。半導体チップのエッチング層、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）構造、集積回路（IC）構造の薄膜層やパターンに小さな開口部を作成するために使用される高精度エッチングおよびアッシング装置です。TEL Triasは、従来のドライエッチャーやアッシャーに比べて精度と精度が向上した反復エッチングおよびアッシング装置（TEARS）です。高精度なエッチング、アッシング、切断を可能にする高度な半導体エッチング/アッシング処理を利用しています。このシステムは、高スループットのプロセス時間制御を強化し、エッチングレイヤーで一貫したエッチプロファイルと正確なパターンを生成することができます。また、エッチングヘッドを正確に位置決め制御することで、エッチングヘッドを基板表面に正確に配置することが可能です。また、ウエハレベルの温度制御、精密なウエハライニングとスペーサ配置、精密なウエハローテーションとローディングなどのウエハハハンドリング機能を内蔵しています。これにより、エッチング、アッシング、および精密なパターニングタスクを単一の工具操作に統合することができ、追加の加工プロセスの必要性を排除し、エッチングおよびアッシングプロセスの最適化を可能にします。また、低圧ロータリー陽極酸化（RRO）エッチングプロセスを採用し、エッチング損傷を排除しながら、より精密なエッチングプロファイルと高いエッチング品質を実現します。また、TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、エッチングチャンバー内の湿度、温度、酸素濃度を正確に制御することでプロセス制御を改善し、エッチング品質が向上し、同じエッチング時間の歩留まりが向上しました。TEL Triasは、密閉型ロボティクス、モーションコントロール、シャッターバルブ、ロード/アンロード機器などの安全性と操作性を向上させ、安全性とユーザーの安全性を向上させます。また、東京エレクトロントライアスはISO14001の認証を取得しており、資産のパフォーマンスの質を確保しています。Triasは、高度なエッチング技術とアッシング技術を組み合わせることで、半導体チップ、MEMS構造、IC構造生産に最適なエッチャー/アッシャーです。精度、精度、安全性を向上させ、高度なエッチングおよびアッシング作業に最適なデバイスです。
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