中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293609735 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、様々なマイクロエレクトロニクス加工用途に使用される大型エッチャー/アッシャー機です。半導体ウェーハの酸化物ストリッピングやエッチング、金属などのエッチングに使用される汎用性の高い装置です。TEL Triasは、高速機能、ウェハハンドリングの柔軟性、高度な安全機能を備えています。その大きなプラットフォームは、1サイクルにつき最大6つの200mm （8インチ）ウェーハを収容でき、高速CF4/O2反応イオンエッチング（RIE）により、高速かつ一貫した結果を保証します。また、ジョグホイール付きの直感的なタッチスクリーンインターフェース、可変ポンプダウン、限られた圧力制御、3つの温度ゾーン、エッチングプロセスのオンザフライスイッチングなど、さまざまなユーザーフレンドリーなオプションを提供しています。このエッチャー/アッシャーは、堅牢で密閉されたステンレス製のチャンバーとトリプルシールド設計により、世界をリードする品質と長期的な信頼性を備えています。さらに、Triasは、デュアルインターロック、センサタイプのスイート、自動開口安全ゲートなど、最先端の安全機能も提供しています。これにより、ユーザーとオペレータの安全性が向上します。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、半導体業界、産業界、エレクトロニクス業界の厳しいニーズを満たす、非常に汎用性の高い信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。高速、高度な冷却、プロセスオートメーション、安全機能を備えたこのエッチャー/アッシャーは、精密かつ正確なマイクロエレクトロニクス処理を可能にします。その結果、TEL Triasは幅広いウエハレベルのアプリケーションに最適なソリューションです。