中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293605934 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、マイクロエレクトロニクス機器を迅速かつ優れた精度で処理するために設計されたエッチング/アッシャー装置です。エッチング速度、精度、均一性を最大化するマイクロ流体ジェットエッチング技術を採用しています。TEL Triasには、エッチング用の基板やウエハ位置を高精度にアライメントする3軸Zernikeタイプのアライメントシステムも搭載しています。TOKYO ELECTRON Triasは、複数のイオン源によって生成される静電界によって加速されるリアクティブイオンエッチング（RIE）プラズマ環境を利用しています。これにより、原子レベルの精度と基板またはウエハ全体の均一なエッチング速度でエッチング処理を行います。プラズマ環境は、エッジやコーナーの浸食を起こしやすい望ましくない物理エッチングプロセスを削減または排除し、より高密度な設計を可能にします。Triasはまた、標準およびサブリゾリューションのリソグラフィを含む、フルレンジのフォトレジスト技術をサポートしています。このソフトウェアは、1時間あたり最大10個のウェーハのスループットを提供するように設計されており、上流および下流のプロセスと統合および自動化するように設計されています。このユニットは複雑な3次元構造を処理することもでき、既存のほとんどのフォトマスク構造と互換性があります。TEL/TOKYO ELECTRON Triasは、低振動、環境絶縁チャンバーに収納され、磁気によるフォトマスクの歪みを低減します。ウェハハンドリングマシンを内蔵し、汚染や粒子付着のリスクを低減し、ウェハステージには石英加熱素子を搭載し、正確かつ正確な熱制御を可能にします。TEL Triasは、オンサイトサポートとカスタムエンジニアリングソリューションを提供するために、サービス担当者と技術専門家のグローバルネットワークに支えられています。