中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias W #9222545 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Trias Wは、半導体デバイス製造用に設計されたエッチャーおよびアッシャー装置です。バッチエッチング機能と同時アッシング機能を1つのプラットフォームに組み合わせることで、製造メーカーは生産サイクルでより大きなプロセス制御を実現できます。これにより、TEL Trias Wは、大容量シングルプロダクトから、より複雑なデバイス構築まで、幅広い製造プロセスに最適です。東京エレクトロンTrias Wの中核は、処理中のウェーハを収容するために大きな反応チャンバーを使用しています。このチャンバーは化学物質供給システムと連携してチャンバーに反応種を注入し、ウェーハを反応雰囲気にさらします。この大気にさらされると、エッチングとアッシングが正確に制御された比率で発生します。これにより、エッチングとアッシングが同じ速度で行われ、最終製品を完全に制御できるようになります。Trias Wには高度なプロセス制御機能も搭載されており、さまざまな生産ニーズに対応できます。圧力、温度、流量、ガス種などを制御するためのさまざまなパラメータが含まれています。これにより、エッチングとアッシングが意図された通りに正確に行われます。また、TEL/TOKYO ELECTRON Trias Wは柔軟性を考慮して設計されており、複数の構成が特定のデバイス要件を満たすことができます。それは別の版のサイズと、または余分プロセス部屋およびウェーハの移動の腕の付加とカスタマイズすることができます。これにより、製造メーカーはプロセス時間を短縮し、デバイス構築の精度を最大限に高めることができます。さらに、TEL Trias Wには、潜在的な事故からユニットとオペレータの両方を保護するための多くの安全機能が装備されています。これには、内蔵の安全マシンモニターとアラームが含まれており、問題を検出してそれに応じてプロセスをシャットダウンします。TOKYO ELECTRON Trias Wは、大量生産プロセスに対応できるパワフルでフレキシブルなエッチャーとアッシャーツールです。プロセス制御機能、カスタマイズ可能なコンフィギュレーションオプション、安全機能により、信頼性と正確な結果を必要とする半導体デバイスメーカーにとって理想的な選択肢となります。