中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294475 を販売中

TEL Trias TI/TINは、半導体用に設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、迅速なターンアラウンドで多くの精密エッチングと剥離プロセスを実行することができる機械のホットプレート型です。機械は4つの部屋から成っています；エッチング、ストリップ、トランスファー、排気室。エッチングチャンバーにはエッチングユニットが内蔵されており、シリコン基板をエッチング液に浸してパターニングを行います。ストリップチャンバーにはエッチング液クリーナーが内蔵されており、基板からエッチング残留物を除去する超音波振動にさらされています。ストリップチャンバーに真空を発生させ、生成された残留物と一緒にエッチング液を除去します。トランスファーチャンバーはエッチングとストリップチャンバー間の基板輸送に使用され、排気チャンバはチャンバーから生成された発煙を除去するために使用されます。このマシンには高度な制御装置が装備されており、エッチングおよびストリップ処理のパラメータを設定する際に優れた機能と柔軟性をユーザーに提供します。制御システムを使用して、エッチング時間、エッチング温度、エッチング圧力、エッチング溶液濃度を調整できます。ユーザーはまたストリップ部屋および移動部屋の温度、圧力および乾燥した時間を置くのに単位を使用できます。さらに、このマシンはユーザーが特定の基板やプロセス用に作成されたエッチングレシピをいつでも取得して使用できるようにします。このツールはまた、プロセスパラメータを監視し、ユーザーにフィードバックを提供します。TOKYO ELECTRON Trias TI/TINには、適切な動作と事故防止のための安全機能がいくつかあります。静電気を排除し、エッチングや剥離工程での安全性を確保する接地アセットを組み込んでいます。このモデルは、使用中にチャンバが適切にロックされていることを確認することにより、オペレータがエッチングおよびストリップチャンバーに入るのを防ぎます。アラーム装置が設置されており、プロセスパラメータのいずれかが確立された範囲外でドリフトし、オペレータにそれらを修正するように警告します。TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、チップのエッチング・剥離時に高い精度と迅速なターンアラウンドを提供します。半導体アプリケーション向けに設計されており、信頼性と効率性が高く、工業生産に最適な機械です。