中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294366 を販売中

TEL Trias TI/TINは、半導体製造業向けに設計された高性能エッチャー/アッシャーです。シリコン、ガラス、ポリシリコン、石英などあらゆる素材に、高品質で均一なエッチング/シャドーイングを提供することができます。エッチャー/アッシャーは、信頼性の高い標準的なエッチング/シャドーイング・プロセスの装置を採用しています。TOKYO ELECTRONが開発した高度なソフトウェアを搭載したプログラマブル制御システムを搭載し、再現性と高品質な結果を実現しています。エッチャー/アッシャーは、加熱基板、フォーカシングレンズ、エッチング/シャドーイング用ノズル、プラズマ発生器、基板温度モニターで構成されています。Peltier冷却ユニットを装備し、エッチング/シャドーイング後に基板を正しく維持・冷却することができます。エッチャー/アッシャーは、高精度で再現性のあるだけでなく、エッチング/シャドーイングを最適化するための調整可能なビーム速度と角度を備えています。機械はエッチング/影の環境をきれいに保ち、乾燥する真空ポンプが装備されています。また、ワークスペースから排出された粒子を確実に除去する専用の排気ツールも装備されています。アセットには、正確なエッチング/シャドーイング・モニターが装備されており、エッチング/シャドーイング・プロセスを追跡し、プロセスが完了したときにユーザーに通知します。エッチャー/アッシャーは、異方性、等方性、毛布エッチング/シャドーイングなど、複数のタイプのエッチング/シャドーイングもサポートしています。さらに、パターン化されたエッチング/シャドーイングを処理することができ、広い領域でエッチング/シャドウを行うことができます。さらに、パワーマネージメント、イオンビーム蒸着、ウェーハ保護機能を備え、産業用途向けに信頼性の高い汎用性の高いエッチャー/アッシャーとなっています。