中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294214 を販売中

TEL Trias TI/TINは、エレクトロニクス業界における半導体加工ニーズに特化したエッチャー/アッシャーです。マルチステップ・マルチプロダクト加工が可能で、コスト効率の高い生産設備を活用しながら、高品質なウェーハの生産を可能にします。その目的は、デバイスや半導体製品を製造するために、半導体ウェーハの特定の領域にパターンや材料を正確に堆積させることです。リアクティブイオンエッチング（RIE）技術を活用し、精密パターンや材料沈着を実現しています。TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、直感的なメニューを備えた簡素化されたユーザーインターフェース、自動ウェーハローダー、振動を低減するコンポーネントなど、最新の機能を備えています。ウェーハは、プロセスチャンバー内の静電クランプによって所定の位置に保持され、正確で一貫したパターンを確保します。Trias TI/TINはまた、堆積している材料の厚さを監視するために、さまざまな同軸および平行マルチガスラインとスキャンレーザーユニットを提供しています。さらに、このマシンは、人員安全インターロック、内蔵の排気工具、および地上障害遮断器（GFI）を含む、強化された安全性を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、幅広いエッチング機能を備え、半導体分野の製造ソリューションに最適です。高度なアルミニウムエッチング機能を備えており、重要なアスペクト比のアプリケーションに高速エッチングとランピング機能を提供します。また、業界をリードするエッチングおよびビアホールエッチング機能を提供し、ダマスケントレンチングなどの精密アプリケーションの深度と再現性を向上させます。さらに、このアセットは、制御されたエッジプロファイル用の光学スルーエッチングやサイドウォールエッチングなどの高度なエッチング機能を提供します。要するに、TEL Trias TI/TINは、半導体業界の変化する需要に対応するための高度な機能と機能を提供するエッチャー/アッシャーです。精密パターニング技術と反応イオンエッチング技術を活用し、高品質なウェーハの製造における正確性とコスト効率を確保しています。さらに、同軸および並列マルチガスライン、スキャンレーザーモデル、および強化された安全機能により、製造プロセス中の信頼性と保護が保証されます。