中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9253817 を販売中

TEL Trias TI/TINは、半導体加工のための最先端のエッチャー/アッシャーです。ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）技術を採用し、高い精度と再現性を備えた製品を製造しています。主に半導体業界で使用され、サブサイズ100nmなどの用途に使用されています。エッチング工程自体は真空チャンバーで行われます。手元のタスクに基づいて選択されているプロセスガスは、試料と一緒にチャンバーに導入されます。プロセス中に、電界とチャンバー内からの爆発は、エッチング環境を作成します。この環境は、プロセスガスと試料と相互作用して、エッチング、アニール、堆積物を高精度な順序で処理し、その結果、パターン化されたエッチプロファイルを持つ2次元および3次元構造になります。TOKYO ELECTRON Trias TI/TINにはグラファイトサセプターが装備されており、エッチングするアイテムを保護し、最適なレベルで温度を維持します。このシステムにより、フリッカーがほとんどないため、高精度なエッチングとアニールが可能です。また、自動ウェハハンドラを搭載し、複数のアイテムを同時にエッチング・アニールすることが可能です。ハンドラーは、試験片をさまざまな方向に正確に配置して移動させることができ、エッチング工程の全範囲を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは3ミクロンの解像度を備えており、ウェーハ加工業界でTELの成功のマークとなっています。また、オゾン漏れからウェハを保護するオゾン安全インターロック機構などの安全機能も搭載しています。TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、高精度、再現性、信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、2次元、3次元の高精度な構造を生成することができます。グラファイトサセプター、自動ウェハハンドラ、3ミクロン分解能、安全機能を備えており、安定した状態を保ち、オゾン漏れから保護します。