中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9243662 を販売中

TEL Trias TI/TINは、高度な半導体プロセス技術のために特別に設計された高度なエッチング装置です。半導体基板やエッチング、ストリップフォトレジストに薄膜を堆積させることができるマルチチャンバーシステムです。Trias TI/TINは、半導体デバイスの製造において信頼性の高い低コスト性能を提供するように設計されています。TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、エッチングの均一性と選択性を正確に制御できる高度なプラズマ制御ユニットです。この機械は圧力および無線周波数（RF）の脈打つことを結合してエッチプロフィールの堅い制御を可能にします。さらに、フィードバックツールを搭載しており、エッチングプロセスを継続的に監視し、結果が期待に一致するようにすることができます。Trias TI/TINには、エッチングに必要なクリーンな電力を提供するソースモジュールも含まれています。このモジュールは、クリーン電力の供給を正確に制御することにより、エッチャーの全体的な性能を向上させます。さらに、優れた性能のための追加のプロセスガスを提供することができます。Trias TI/TINは、エッチングプロセス中にガスの安定性と保持を確保するための磁気フィルター資産を備えています。このフィルターモデルは、エッチングプロセスを汚染する望ましくない粒子を排除し、エッチング結果を改善します。Trias TI/TIN装置は、高い信頼性により歩留まりを向上させるため、高度な半導体デバイスの製造に最適です。低コストの運用により、総所有コストを最小限に抑えます。このシステムは構成可能なレシピも備えているため、複数のエッチング方法や技術に適しています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、正確な制御と信頼性の高い性能を提供する高度なエッチングユニットです。洗練されたプラズマ制御、ソースモジュール、および磁気フィルターにより、効率的なエッチング処理が可能です。そのため、先進的な半導体デバイスの製造に最適です。