中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9212676 を販売中

TEL Trias TI/TINは、さまざまな業界のニーズに対応するために設計されたエッチャー/アッシャー機器です。銅、アルミニウム、ステンレス、シリコンなど多種多様な素材のエッチング・アッシングが可能です。このシステムは、高性能な電子ビーム源、真空チャンバー、高度な制御ユニット、およびさまざまなアプリケーション固有のサポートシステムで構成されています。TOKYO ELECTRON Trias TI/TINの電子ビーム源は50kVまでのエネルギーを作り出すことができ、調節可能な偏向器の設定が装備されています。素材の無駄のない精密エッチングが可能です。真空チャンバーは、ビームとチャンバ環境を清潔に保つことにより、最適な性能と最大のエッチング精度を提供します。温度コントローラ、自動安全シャットダウン、調整可能なグリッド設定が含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TINの制御機は、エッチング工程を精密に制御するとともに、操作性の向上を図っています。プロセス設定と監視のためのユーザーインターフェイスの包括的なセットが含まれています。また、スクリプトの簡単なプログラミングと最適化のためのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も含まれています。エッチング結果の分析には、さまざまなデータ取得および診断ソフトウェアパッケージを利用できます。このツールは、バッチおよびシングルステップエッチング、アッシング、および材料の描画のためのアプリケーション固有のサポートシステムを提供することにより、柔軟な容量に設計されています。TEL Trias TI/TINは、高温・超高速エッチングから低温・低圧エッチングまで、幅広いプロセスパラメータを提供します。超高精細イメージング資産を活用し、優れたラインサイズと誘電体の壁幅制御、およびファインフィーチャー製造に使用しています。TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、半導体、医療機器、MEMS、およびPCB業界で使用するために設計されています。複雑な形状、プロファイル、およびさまざまな材料の特徴をエッチングするための信頼性の高い効率的なツールです。このモデルは、短いサイクル時間と最小限の無駄で高品質の結果を生成することができます。