中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias Ti/TiN #293802348 を販売中

TEL Trias TI/TINは、半導体アプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチング、アニール、プリクリーニングプロセスに使用できる多機能ツールです。Trias TI/TINは電子ビームを利用して部分的な真空を生成し、エッチング工程を高度に制御します。その精度と再現性は、一貫した高品質のエッチング結果を提供します。このツールは、基板上の粒子のリスクを最小限に抑えるために、低粒子密度制御を備えています。Trias TI/TINは、RIE（リアクティブイオンエッチング）、eビーム物理蒸着（e-PVD）、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）など、さまざまなエッチング機能を提供します。その強力なエッチング機能により、繊細な基板から素材を素早く正確に除去できます。このプロセスにより、温度、レシピ、アライメントなどのエッチングパラメータを最大限に制御できます。さらに、Trias TI/TINを使用して、金属やその他の材料を基板に堆積させることができます。エッチング以外に、Trias TI/TINもアニールに使用できます。基板の物理的および化学的性質を変更するだけでなく、表面を平滑化および密閉するために使用することができます。このプロセスはまた、過剰な材料ひずみによるチップの故障を軽減するのに役立ちます。さらに、Trias TI/TINは基板の事前洗浄にも使用できます。このプロセスにより、基板表面の汚染物質を除去し、最適な結果を得ることができます。結論として、TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、半導体アプリケーションでの使用に最適な高度なエッチャー/アッシャーです。高精度で再現性に優れているため、エッチング、アニール、プリクリーニングに特化した多機能性が付加価値をもたらします。さらに、その低粒子密度制御は、汚染のリスクを低減するのに役立ちます。