中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #293689275 を販売中

TEL Trias TI/TINは、半導体製造に使用される高精度エッチャーおよびアッシャーです。これは、シリコン、二酸化ケイ素、原子レベルの金属、さらにはナノ材料の多層などの幅広い作業材料でエッチングおよびアッシングすることができます。東京エレクトロンTrias TI/TINは、トリフィールドテクノロジーと呼ばれる誘導および熱分野でエッチングとアッシングを行います。この誘導と熱場の組み合わせにより、エッチング量を正確に制御することができ、そうでなければ起こる可能性のある望ましくない副作用を減らすことができます。動作温度を監視し、最大限の均一性を確保することで、幅広い材料の精密エッチングとアッシングを可能にします。機械はまた高度の温度調整のおかげで安定した、反復可能な性能が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、6インチのウェーハ積載能力を備え、最大4種類のエッチングガスに対応できます。また、ガスイメージング機能も備えており、ガス分析に基づいて反応イオンエッチング条件を最適化することができます。プロセスデータは、後でリコールするために保存することができ、繰り返し可能で信頼性の高いパフォーマンスを提供し、時間とリソースを節約します。TEL Trias TI/TINは操作が簡単なシンプルなユーザーインターフェースを備えており、パソコンやタッチスクリーンで遠隔監視が可能です。このマシンは遠隔地から監視および操作することができ、ユーザーはデータにアクセスし、実質的にどこからでも操作を行うことができます。東京電子トリアスTI/TINは、半導体製造に使用される高精度エッチャーおよびアッシャーです。効率的な繰り返し可能な性能と幅広い互換性のある材料、温度制御、遠隔監視オプションによる簡単な操作を提供します。この機械は半導体の製造業の適用の範囲のための理想的な選択です。