中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #293644140 を販売中

TEL Trias TI/TINは、集積回路（IC）基板の製造に使用されるエッチング装置（アッシャーとも呼ばれる）です。電動金属源を使用して、基板上に金属ベースのパターンを作成します。アッシャーは、基板、反応チャンバー、温度制御ユニット、エッチング電極、エッチガスなど、さまざまな機能部品で構成されています。TOKYO ELECTRON Trias TI/TINの基板は、金属エッチング電着をサポートする金属、半導体、絶縁体材料です。システムの反応室に配置され、エッチングガスにさらされます。TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TINの反応チャンバーは、エッチングガスが基板に接触する密閉チャンバーです。また、エッチガスの温度を監視する温度制御ユニットも内蔵しています。エッチング電極はアッシャーの金属源です。TiNやWなどの金属源を含み、反応室とは別のチャンバーに収容されています。金属源を加熱し、イオンを基板に接触させます。エッチングガスは金属エッチングプロセスを可能にするために使用されます。通常、塩素などのフッ素系ガスと水素などのリアクタントガスの組み合わせで構成されています。エッチガスは、基板に金属源をエッチングするのに役立ち、ユニットの他のコンポーネントへの損傷を防ぎます。最後に、機械の温度制御ユニットが反応室の温度を調節するために使用されます。これにより、エッチングプロセスを最適化するために温度が許容レベルで維持されます。全体的に、TEL Trias TI/TINエッチングツールは非常に効率的で汎用性があります。幅広いIC基板の製造に使用できるように設計されています。メンテナンス性が低く、大量の基材を一度に処理できます。さらに、このアセットは手動操作と自動操作の両方に適しており、複雑なICパターンと機能を作成するための理想的なソリューションです。