中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #293638915 を販売中
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TEL Trias TI/TINは、様々なサンプルタイプやサイズに対応できる最先端のエッチング/アッシングシステムです。エッチャー/アッシャーは、通常は半導体である基板の表面をパターン化するために設計された機械です。エレクトロニクスを作成するための出発点であり、ユーザーは複雑なデザインを迅速かつ正確に作成できます。TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、最も複雑なジオメトリと寸法を作成することができる汎用性の高い、高度に構成可能なエッチャー/アッシャーです。そのオートメーションとユーザー制御パラメータは、ユーザーに究極の柔軟性を提供し、高い再現性と精度のプロセスを作成します。TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは高精度で、直径300mmまでの基板に50nmまでのパターニング精度を備えています。また、幅広いプロセスとガス化学の柔軟性を備えており、ユーザーは今日のさまざまな複雑な構造を扱うことができます。TEL Trias TI/TINは環境に優しく、低真空、超低K、高アスペクト比の技術を搭載しているため、資源消費量が少なく残留物も少なくなります。TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、最も困難な時間内に最大のプロセススループットを提供するように設計されています。デュアルビームエッチングおよびアッシング機能と高度なDI/RIテクノロジーにより、革新性と再現性を犠牲にすることなく、スループットを向上させます。自動化されたプリソートや最適化されたレシピなどの機能は、より高い歩留まりを提供しながら処理時間を最小限に抑えるように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TINは、高解像度の使いやすいカラータッチスクリーンコントロールパネルで簡単に操作できます。このコントロールパネルを使用すると、統合されたレシピ自動最適化アルゴリズムとの通信を含むプロセスを簡単に監視および調整できます。これにより、製造プロセスを迅速かつ正確に最適化できます。TEL Trias TI/TINは、エッチング/アッシングに関して最高の選択肢と考えられています。ハイテクなオートメーション、精度、再現性、環境への優しさは、仲間から真に際立っています。これにより、東京エレクトロンのTrias TI/TINは、最も要求の厳しい半導体エッチングおよびアッシング用途に最適です。
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