中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9399036 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA
ID: 9399036
ウェーハサイズ: 8"
CVD System, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA (TEL Trias SPA)は、日本の半導体加工装置スペシャリスト、TELが設計・製造した先進エッチング機です。TOKYO ELECTRON Trias SPAは、さまざまなハイエンド素材に精密なエッチングを提供することができます。Trias SPAは、さまざまな形状やサイズを製造するために使用できるケミカルエッチングプロセスを提供しています。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPAは、精密エッチング加工において非常に高い精度と安定した処理能力を有しています。エッチャーは、350 µmのエッチング精度が印象的な革新的なトラフ設計のために、一部では50nmの薄さのターゲットを処理することができます。TEL TRIAS SPAは、多用性のあるエッチング剤を使用することで、プラスチック、ガラス、セラミックス、金属に正確にエッチングすることができます。TOKYO ELECTRON TRIAS SPAは、操作の安全性と正確性を保証する、人間工学に基づいたユーザーフレンドリーなデザインを提供します。高速シャットオフ時間とマスフローコントローラにより、精密エッチングが可能ですが、12インデックスのロードロックシステムにより、ダウンタイムを最小限に抑えて最大出力を実現します。また、ユーザーフレンドリーなGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)により、様々なパラメータの簡単なナビゲーションと調整が可能であり、さまざまな規格に準拠しています。Trias SPAは、3モードのクリーニングサイクルを提供しています。これにより、廃棄物や最大精度であらゆる種類のエッチング作業に取り組むことができます。その2つの追加のすすぎサイクルは、すべての破片と汚染物質がエッチング後に徹底的に除去され、ターゲット材料への損傷の可能性を回避することを保証します。また、エンドオブバス洗浄サイクルにより、エッチング後の変色やスラリーの発生を防ぎます。TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPAは、クリーンで正確なエッチングを実現します。さらに便利に、TEL Trias SPAはネットワーキング機能も提供しています。これにより、マシンは他の監視および制御システムに接続することができ、強化されたプロセスオートメーションとリモートのトラブルシューティングが可能になります。また、TOKYO ELECTRON Trias SPAは、デザインとエッチングのためのソフトウェアパッケージの範囲と互換性があり、高度なプロジェクトのための優れたユーザーエクスペリエンスを確保します。全体的に、Trias SPAは、最高の安全性と精度で精密エッチングを提供するように設計された効果的なエッチング機です。ユーザーフレンドリーな設計、機能の強化、プロセスオートメーションの改善により、精密エッチング作業に最適です。TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPAは、信頼性の高いエッチャーをお探しの方にぴったりのスパです。
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