中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9315410 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPAは、幅広い素材のディープエッチング用に設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。このエッチング/アッシャーは、最大500 μ mのシリコンエッチング機能を備えています。TEL Trias SPAは、最高3。5 μ mのエッチングパターンを提供することができ、優れた精度と優れたパターン再現性を備えています。エッチャー/アッシャーは、石英、セラミック、ガラス、ITO、その他の材料など、シリコンからその他の基板まで、幅広い材料のエッチングに最適です。エッチャー/アッシャーは、優れたプロファイル制御と最小限のオーバーエッチング機能を実現し、正確な作成パターンを可能にします。TOKYO ELECTRON TRIAS SPAエッチャー/アッシャーには、クォーツチャックやクォーツエチャントウェーハホルダーなどの標準部品が装備されています。コンパクトな設備として設計されており、床面積がほとんどなく、より高いプロセス密度を実現しています。エッチャー/アッシャーはユーザーフレンドリーで、簡単に操作できます。このシステムには、ユーザーが最適なプロセス条件を選択し、最高のエッチング結果を得ることができるさまざまな制御プログラムが装備されています。また、エッチングプロセスを監視し、エッチング剤が材料に最適であることを確認することができます。Trias SPAエッチャー/アッシャーは、幅広い材料および基板のプロセス制御に適しています。異方性と等方性の両方のエッチング処理が可能です。エッチャー/アッシャーには、安全なエッチングプロセスを確保するための複数の高度な安全機能が装備されています。マシンの制御を簡素化するフルカラーのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。また、TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPA etcher/asherには、ユーザーがマシンを監視してメンテナンスできるさまざまな機能があります。手動および自動基板洗浄機能を備え、特定のウエハサイズのプロセスウィンドウを狭め、プロセスメンテナンスを簡素化します。さらに、エッチャー/アッシャーはバッチレベルのプログラミングとシングルウェーハプログラミングの両方をサポートしているため、幅広いエッチングアプリケーションに最適です。TEL Trias SPAエッチャー/アッシャーは、高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーツールであり、正確で信頼性の高い結果を生み出すとともに、貴重なプロセス制御機能、プロセス監視、安全機能を提供します。多種多様なエッチングやその他の用途に適しており、実験室や生産設備にも最適です。