中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9294450 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPAは半導体業界で使用される先進的なエッチング/アッシング機です。これは、製造メーカーが最高の歩留まりを確保できるよう、優れたプロセス制御と信頼性を提供するように設計されています。TEL Trias SPAは、いくつかの主要コンポーネントと高度な機能を備えています。高度なチャンバー設計により、安定した高真空環境を実現し、温度やガスの流れなどのプロセスパラメータを損なうことなく、最速のエッチング速度を実現します。低摩擦チャック、ゲートバルブ、および高度なロードポートは、温度制御と安全性を向上させ、ビームラインガイドはウェーハ全体で最大の均一性を確保します。これらの機能により、ユーザーは最短のエッチング時間で最高の均一性を達成できます。TOKYO ELECTRON Trias SPAの高精度は、エッチングされた特徴やパターンのサイズに最適です。フォトレジストの厚さをモニタリングすることで、エッチングの精度を把握し、レシピの調整や歩留まりの向上を実現します。Trias SPAはまた、高度なソフトウェアの包括的なパッケージを備えています。Digital Recipe Managementシステムにより、ユーザーは簡単にレシピライブラリを管理でき、施設のコマンドおよび制御ユニットと統合することもできます。Advanced Process Controlマシンは自動的にプロセスパラメータのバリエーションを補正しますが、統合されたCo-simulationツールを使用すると、実行前にプロセスのアフターエフェクトを評価できます。高度で自動化されたチャンバークリーニング機能は、個別に対応可能なチャンバを備えた3段階のチャンバークリーニングアセットを使用しており、ウェーハの回収時間と高い清浄性を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPAは半導体産業の先進エッチング機です。その堅牢な機能により、優れたプロセス制御、高精度、均一性、再現性、およびエッチング時間の短縮が保証されます。TEL Trias SPAは、Digital Recipe ManagementとAdvanced Process Controlシステムを備えた包括的な高度なソフトウェアと、自動化されたチャンバークリーニングモデルを提供することで、ユーザーの歩留まりを向上させるのに役立ちます。