中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9284152 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPAは、物理デバイスと電子デバイスの両方の製造用に設計された自動エッチャー/アッシャープロセスです。このプロセスにより、メーカーやエンジニアは、最小サイズの10ナノメートルまでのさまざまな表面を正確にパターン化することができ、有機材料、無機材料、高分子材料を柔軟に処理することができます。装置は、チャンバー、プラズマ源、制御エレクトロニクスの3つの主要コンポーネントで構成されています。システムの真空ベースのプロセスチャンバーであるユニットの心臓部は、高度な排気、避難、ガス分配機能を備えて設計されており、幅広い処理アプリケーションを可能にします。プロセスチャンバーに取り付けられたプラズマ源の出力により、様々なプラズマエッチング化学を可能にし、機械の制御基板は、優れた製品歩留まりのための精密で再現性のあるプロセスレシピを可能にします。TEL Trias SPAには、エッチングプロセスの構成ステップを自動的に定義するための洗練されたウェハPLC制御ツールなど、最適なプロセス制御とパフォーマンスを保証するさまざまな機能が含まれています。さらに、このアセットには、リアルタイムデータ取得、アラームデータ監視、自動プロセスレシピ調整など、さまざまな有用な補助機能が含まれており、プロセスのパフォーマンスを最大化するのに役立ちます。このモデルには、さまざまなグラフィカルモニタリングインターフェイスも含まれており、半導体デバイス製造のプロセス開発および認定段階のエンジニアを支援します。この装置の高度な圧力測定機能とリアルタイムグラフィカルインタフェースにより、精密かつ再現性のあるエッチング結果を得るための処理パラメータを効率的に調整できます。TOKYO ELECTRON TRIAS SPAは、一貫した性能と信頼性を確保するため、故障やメンテナンスコストを最小限に抑えるよう設計されています。これは、高度な制御システム、強力な磁気チャック、耐腐食性ヒーター、および特殊な真空ポンプの適用によって達成されます。全体として、Trias SPAエッチングシステムは強力で信頼性の高いデバイス製造ツールであり、小さなフィーチャーサイズのさまざまなサーフェスのエッチングに費用対効果の高いソリューションを提供します。その柔軟性、精度、使いやすさは、半導体デバイスの製造に不可欠なツールです。