中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9277487 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPAは、最先端のリソグラフィやイメージング用途向けに設計された、アッシャーとしても知られる高度なエッチャーです。このエッチャーは、高度な化学制御のために設計されており、真空チャンバー構造の最新の進歩を組み込んでいます。非常にきれいで安定したエッチング環境を提供します。これは、高度なフォトマスクやデバイスの最も効率的で正確なエッチングに不可欠です。TEL Trias SPA etcherは、超低kV露出、エッチング温度の厳密な制御、およびプロセスパラメータの優れた監視を可能にする幅広いプロセス制御機能を提供します。これらのプロセス制御機能により、高速かつ効率的なエッチング処理が可能になり、優れた画像とデバイスの結果も得られます。エッチャー本体は超高純度アルミニウムで構成され、密閉性を確保し、部品への化学的暴露を最小限に抑えます。エッチャーは、汚染の可能性を排除するために独自のトリプルコート層の断熱材で設計されています。チャンバー温度を+/-0。2°Cに厳しく制御し、エッチング工程の収差を低減し、エッチングに最適な環境を提供します。また、エッチャーは独自のマルチプレッシャーアーキテクチャを使用して、外部の汚染源からエッチャーの内部をさらに隔離します。TOKYO ELECTRON TRIAS SPA ETCHERはまた、チップおよびデバイス機能のイメージングおよび測定に特化した計測ツールを幅広く提供しています。これらのツールには、紫外レーザー干渉計、走査型電子顕微鏡、さまざまな光学顕微鏡およびジャイロスコープ測定システムが含まれます。これにより、エッチング処理中のチップ特性の正確なイメージングと測定が可能になります。Trias SPA etcherは、あらゆるリソグラフィまたはイメージングアプリケーション向けの高度なエッチングソリューションです。高度なプロセス制御機能、超高純度チャンバー構造、高度な計測ツールにより、高品質のエッチング結果を達成するための信頼性と効率的なツールです。