中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9220304 を販売中

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ID: 9220304
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2005
Plasma nitridation deposition system, 8"-12" Load port Single chamber system 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPAは、半導体製造に特化したエッチャー/アセンブラです。自動化されたインラインエッチング/組み立てプロセスを備えており、半導体チップの効率的で費用対効果の高い生産を可能にします。TEL TRIAS SPA浴槽に液体前駆体を注入することからエッチング/組立工程が始まります。液体前駆体は半導体ウェーハの露出領域と反応し、エッチングパターンとジオメトリを生成します。これらのエッチングジオメトリは、半導体ウェーハ上に所望の電子部品を構築するために使用されます。また、トーキョーエレクトロントライアススパには、自動コンピュータビジョン機能が搭載されており、対象となるエッチング/組み立てポイントを特定して特定し、プロセスの精度と再現性を高めることができます。また、CCDカメラを内蔵しており、加工完了後のエッチングパターンの高解像度検査が可能です。これにより、製造された部品の潜在的な欠陥または欠陥を検出するのに役立ち、製造されたチップの最高品質基準を保証します。さらに、ウェーハ表面に金属や絶縁材などの物質を堆積させる高度な堆積技術を搭載しています。このステップにより、プロセスの精度と効率がさらに向上し、チップの歩留まり率が高くなります。さらに、Trias SPAマシンは、安全で信頼性の高い動作を提供するように設計されており、必要な人的労働とエラーのリスクを最小限に抑えます。また、既存の半導体生産ラインに簡単に保守および統合できます。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPAは、半導体ウェーハのエッチングと組み立てにおいて信頼性が高く効率的なツールであり、高度で複雑なチップ設計を費用対効果の高い方法で製造することができます。
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