中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias MU SPA #9267460 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Trias MU SPAは、半導体・MEMS加工用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。500MHz RFパワー、飛行時間二次イオン質量分析（TOF-SIMS）、低エネルギービーム蒸着（LEBD）などの最先端の技術を使用して、精密なエッチング結果を提供します。標準のウェーファーサイズは6インチで、回路基板、MEMSデバイス、センサー、その他のマイクロエレクトロニクス部品など、幅広い用途で高精度なパターニングが可能です。エッチャー/アッシャーには、誘電体の層の堆積チャンバーとその場光アライメント装置が装備されています。TEL Trias MU SPAは、反応性イオンの組み合わせを使用して正確な結果を保証するマルチパスエッチングプロセスを利用して、プロセス中に定義済みの二酸化ケイ素と窒化ケイ素の薄い層を堆積します。エッチャー/アッシャーは、エッチング相ごとに異なるガスを使用できるようにすることで、エッチング工程の結果を改善することができるマルチチャンバーシステムを備えています。TOKYO ELECTRON Trias MU SPAは、高度なイオンソース制御システム、真空インターロックユニット、偶発的なドライブの損傷を監視および防止する包括的なハードウェア保護装置など、いくつかの最先端の安全機能を備えています。これにより、結果の品質を損なうことなく、安全で効率的な操作が保証されます。Trias MU SPAは、高精度のエッチングおよび成膜プロセスと優れた安全機能を提供するため、マイクロエレクトロニクスアプリケーションでの使用に適しています。半導体やMEMS関連の幅広いプロジェクトに最適です。