中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias LPA #9161871 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Trias LPAは、ウエハー加工用に設計された化学機械平面化（CMP）エッチャーおよびアッシャーです。このマシンは、1時間あたり最大850枚のウェーハが可能で、平面化の点で非常に高精度です。TEL Trias LPAは、4つのウェーハボウル治具を含むロータリーテーブルを使用しています。これらのフィクスチャの最初のものは、ウェーハを安全に配置し、別のものは化学的に不要な機能を取り除くことができます。サブミクロン粒子液体スラリーは、ブラシツールと組み合わせてウェーハ表面を均一に研磨するために使用されます。2番目の治具は、粒子液体スラリーの別のサイクルで超音波洗浄プロセスを可能にし、徹底的にきれいにします。3番目のフィクスチャーは、光感受性フォトレジストを使用したリソグラフィープロセスで使用されます。フォトレジストは、目的のパターンを作成するために特定の光源にさらされます。第4の据え付け品はフォトレジストおよび他の不必要な残余を洗い流すのに使用されるトンネルのrinserです。この機械の高度な制御システムは、チャンバー温度、圧力、スラリーフローなどの幅広いプロセスパラメータを最大1ミクロンの精度で制御することができます。また、東京エレクトロントライアスLPAは、ウエハボウルとブラシツールの両方を高さで調整できるユニークなリフティングメカニズムを備えています。この機能により、手動での調整が不要になり、研磨中のウェーハ材料の損失を制限できます。Trias LPAは、長期運用にわたって一貫した結果をもたらす非常に信頼性の高い機器です。その堅牢な構造は、長い作業寿命を保証し、その組み込みの安全機能は、オペレータの安全性を保証します。この機械は信頼でき、費用効果が大きいエッチャーを捜す製造業者のための理想的な選択であり、ウェーハの処理の必要性のためのasher。